应用地点：中国·上海浦东某集成电路工厂
服务商：济南孚恩设备安装工程有限公司（FOOEN）

行业背景

集成电路行业对压缩空气的质量要求极为严苛，是典型的“高标准、零容忍”行业。其压缩空气技术指标包括：露点要求为 -70℃@8.5bar、油分含量小于0.01mg/m³、颗粒物粒径≥0.1μm时数量不超过100pcs/m³。除了对空气品质的极致要求之外，对系统的稳定性、连续供气能力以及服务团队的技术水平也提出了极高要求。

项目背景

浦东某大型集成电路工厂在建初期，由于配套的大宗气体厂建设受限于土地审批进度，未能按期投产，导致CDA（洁净干燥空气）和N₂（氮气）无法及时供应。客户急需一套替代供气方案，从调试期直至正式投产，供气需求随建设进度逐步提升，从最初的1000Nm³/h增至15000Nm³/h，且对气体品质与供气稳定性有极高要求。

解决方案

在接到客户需求后，孚恩租赁团队迅速响应，组织多轮技术方案交流，最终制定出一套分阶段供气、灵活扩容、保障冗余的整体解决方案。自2018年3月首台设备进场起，至2019年11月高峰过后逐步撤场，现场最高同时运行12套压缩设备（含10台空气压缩机、2台氮气压缩机），连续稳定运行达16个月，完美覆盖两个夏季与一个冬季，设备运行零故障，获得客户高度肯定。

核心设备配置

1. CDA供气系统（洁净干燥空气）

• 9台集装箱式 ZT250/275 风冷电动无油螺杆空压机
• 1台柴油驱动式风冷无油螺杆空压机（备用机）
• 10套高温型冷干机+微热吸附式干燥机
• 供气能力：约16000Nm³/h，露点-73℃@8.5bar，无油压缩空气

2. 中压氮气增压系统

• 1套 ZT275-N2 无油氮气压缩机
• 1套 ZT132-N2 无油氮气压缩机
• 供气能力：约3200Nm³/h，8bar压力

方案亮点

1. 全天候稳定运行：设备具备全天候露天使用能力，抗高温、低温及潮湿环境，保证全年运行无忧。
2. 模块化配置+备机冗余：多机独立运行，柴油机可快速启用作备机，单台设备检修或故障不影响整体运行。
3. 高效能利用氮源：通过氮气压缩机对低压氮气二次增压，满足工艺用气需求，资源利用率高。
4. 超低噪音设计：集装箱设备采用隔音设计，运行噪音控制在60dB以下，满足半导体行业洁净厂区标准。

总结

孚恩租赁以“服务品质至上，长期互利共赢”为宗旨，在本次集成电路工厂气源替代项目中，以快速响应、专业方案和可靠设备，协助客户顺利完成产线调试及前期生产。该项目展现了我们在高标准行业中的服务能力与执行水平，也再次验证了无油空压机租赁在高端制造业中的广阔前景。